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| 电子半导体车间空气净化工程解决方案 |
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电子半导体车间空气净化工程解决方案
半导体车间空气净化工程目标是建立一个洁净无尘的工作环境，防止空气中的微粒子、有害空气、细菌等。半导体生产流水线上的半成品和成品造成污染。
领先的晶圆设备，微粒过滤和控制AMC是必须的。微粒过滤和控制AMC是高收益、低退货率的半导体产业首要担心的问题。不能很好的在洁净室或设备中控制微粒或AMC将大大的削弱企业的经营利润。洁净室的最主要的问题是产品、工具、加工过程和气味控制的污染 。
半导体车间空气净化通常由：初效过滤器/中效过滤器/高效过滤器三级空气过滤的空调送风回风和 排风系统、动力及照明系统、工作环境参数的监测报警消防、通讯系统、人流和物流系统、工艺管路系统等部分组成。
传统的通风形式是在车间的整个天花板上布满高效过滤器，整个地面为回风栅板。如今AstroFan FFU风机过滤单元使用自带风机的过滤装置，解决了繁复的安装和性价比问题，是目前市场上一种最安静、价格优良的机组，为洁净室输送高质量的循环空气。
用 途: 半导体车间空气净化工艺广泛应用于硅电子、收音机、电视机、电脑、家用电器等行业生产车间的空气净化。 |
| 日期：2014-8-8 |
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